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三室磁控溅射镀膜机(反应溅射型式)Product3

三室磁控溅射镀膜机(反应溅射型式)

发布时间：2022.06-21

三室及多腔室磁控溅射镀膜设备：

三室磁控溅射镀膜机是一款高兼容性设备，采用反应溅射模式，适合做菲林（NCVM）、车载（AR）、3D车载（AR）,以及AR+AF.?？芍票窷B2O5、SIO2 、SI3N4、SIH、Cr、In等不同膜层，兼容3D 异型车载玻璃。

◆工件转动：1~120r/min无极可调
◆极限真空：<2.0E-4Pa
◆膜层均匀性： ≤1%（T Max.-Tmin.）/( T Max.+Tmin.)
◆有效镀膜尺寸：
HD-SCK1600有效溅射高度850mm
HD-SCK1800有效溅射高度1250mm
HD-SCK1800有效溅射高度1500mm

公司自成立以来，一直是真空镀膜设备行业内的龙头企业，是行业内少数具有镀膜生产线设备整体设计及系统集成能力的企业之一，被中国通用机械工业协会真空设备分会认定为“真空设备行业重点企业”和“国内真空镀...

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